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        光學(xué)儀器測量不確定度評(píng)定概述

        2011-03-18

                     光學(xué)儀器測量不確定度評(píng)定概述

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        1.1 測量方法:依據(jù)JJG56-2000《工具顯微鏡檢定規(guī)程》。
        1.2 環(huán)境條件:溫度(20±1)℃。
        1.3 測量標(biāo)準(zhǔn):二等玻璃線紋尺,測量范圍:(0~200)mm;大允許誤差:?0.5?m.
        1.4 被測對象:以檢定萬能工具顯微鏡示值誤差為例評(píng)定測量不確定度。
        1.5 測量過程:在主顯微鏡上安裝輪廓目鏡,移動(dòng)滑板使毫米線紋尺處于零位,將玻璃線紋尺放置在儀器工作臺(tái)中間位置上,調(diào)整玻璃線紋尺及工作臺(tái),使玻璃線紋尺平行于滑板移動(dòng)方向,并使其零線與輪廓目鏡視場中的雙線對準(zhǔn),按儀器讀數(shù)裝置進(jìn)行讀數(shù)。然后依次每移動(dòng)25mm,使玻璃線紋尺的相應(yīng)影像與輪廓目鏡中的雙線對準(zhǔn),并依次按讀數(shù)裝置讀數(shù)。每點(diǎn)應(yīng)進(jìn)行4次對準(zhǔn)和讀數(shù),取其平均值作為該點(diǎn)上的讀數(shù)。儀器的示值誤差應(yīng)在工作臺(tái)正、反行程上進(jìn)行檢定。各點(diǎn)示值誤差分別不大于(1+L/100)?m。下面分析萬能工具顯微鏡縱向示值誤差的測量不確定度。
        2  數(shù)學(xué)模型
        萬能工具顯微鏡各點(diǎn)示值誤差按式(1)計(jì)算:
        δi = (ai  - a0 )–Li(mm)                                                 (1)
        式中:i——每一受檢點(diǎn)的序號(hào),i=1,2,3,…;
             ai 、a0——第i受檢點(diǎn)和起始點(diǎn)上儀器的讀數(shù)(mm);
             Li——檢定第i點(diǎn)時(shí)玻璃線紋尺所用的一段實(shí)際尺寸(mm)。
        考慮到測量中可能導(dǎo)致不確定度的其它來源,式(1)可寫成:
        δi = (ai  - a0 )–Li +δa+δb                                            (2)
        式中:δa——檢定時(shí)溫度偏離標(biāo)準(zhǔn)溫度對檢定結(jié)果的影響;
          δb——檢定時(shí)玻璃線紋尺與儀器的溫度差對檢定結(jié)果的影響。
        3  方差和靈敏系數(shù)
        式(2)中,沒有任何輸入量具有值得考慮的相關(guān)性。
        依 ,有
                                   (3)
        式(3)中,u1、u2、u3、u4、u5分別為ai、a0、Li、δa、δb的標(biāo)準(zhǔn)不確定度。
        又,式(3)中,靈敏系數(shù)的絕對值均為1,故可寫為
                                                   (4)
        4  計(jì)算分量標(biāo)準(zhǔn)不確定度
        4.1 測量重復(fù)性估算的不確定度分量u1和u2
        u1和u2的不確定度來源相同,故u1=u2。以受檢點(diǎn)為200mm為例,測量重復(fù)性是使儀器毫米線紋尺處于零位,同時(shí)調(diào)整好玻璃線紋尺,使玻璃線紋尺的零線與輪廓目鏡視場中的雙線對準(zhǔn),按儀器讀數(shù)裝置進(jìn)行讀數(shù)。然后移動(dòng)滑板至200mm處,使玻璃線紋尺的相應(yīng)影像與輪廓目鏡中的雙線對準(zhǔn),并按讀數(shù)裝置讀數(shù)。重復(fù)對準(zhǔn)200mm刻線并讀數(shù),進(jìn)行10次,得以下數(shù)據(jù):
        200.0000mm;  200.0001mm;  200.0004mm;  200.0002mm;  200.0002mm;
        200.0002mm;  200.0001mm;  200.0001mm;  200.0003mm;  200.0003mm.
        實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)差s=0.12?m,n=10。
        在實(shí)際檢定中每點(diǎn)應(yīng)進(jìn)行四次對準(zhǔn)和讀數(shù),取其平均值作為該點(diǎn)讀數(shù),故有
         =0.06?m
         
        4.2 標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺的不確定度分量u3
        二等標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺檢定結(jié)果的測量不確定度為:(0.2+1.5L)?m,置信概率為99.97%。當(dāng)L=200mm時(shí),該點(diǎn)不確定度為0.5?m,置信概率99.97%按正態(tài)分布處理,對應(yīng)的包含因子kp=3,則
         =0.17?m
         
        4.3 溫度偏離標(biāo)準(zhǔn)溫度對檢定結(jié)果的影響引入的不確定度分量u4
        按JJG56-2000《工具顯微鏡檢定規(guī)程》要求,當(dāng)檢定萬能工具顯微鏡時(shí),檢定室內(nèi)的溫度為(20?1)℃。溫度的影響體現(xiàn)在儀器毫米線紋尺與標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺的線膨脹系數(shù)差Δα的不確定度上,儀器毫米線紋尺與標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺的線膨脹系數(shù)α均在(10.2?0.5)?10-6 ℃-1范圍內(nèi)滿足矩形分布,則線膨脹系數(shù)差Δα在?1.0?10-6 ℃-1的區(qū)間內(nèi)滿足三角分布。按偏離標(biāo)準(zhǔn)溫度1℃計(jì)算,得
         ?m
        估計(jì)其相對不確定度為10%,得自由度 4=50。
        4.4 標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺與儀器的溫度差對檢定結(jié)果的影響引入的不確定度分量u5
        標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺和儀器平衡溫度時(shí)間充分后,溫度差以等概率落于估計(jì)區(qū)間(-0.3~+0.3)℃內(nèi)任何處,即溫度差在估計(jì)區(qū)間(-0.3~+0.3)℃內(nèi)為均勻分布,溫度差對檢定結(jié)果的影響量的誤差限δb=200mm?(10.2?10-6) ℃-1?0.3℃=0.61?m。所以,有
         ?m
        估計(jì)其相對不確定度為25%,得自由度 5=8。
        5  合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度   
                 =0.062+0.062+0.172+0.092+0.362
                 =0.1738(?m)2
         0.42?m
        6  有效自由度
        7  擴(kuò)展不確定度
         0.90?m
        8  報(bào)告
        萬能工具顯微鏡縱向示值誤差的擴(kuò)展不確定度:U95=0.90?m,合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度 ?m,有效自由度 ,包含因子kp = t95(14) = 2.16,從而具有約為95%概率的置信區(qū)間。
              深圳市天友利標(biāo)準(zhǔn)光源有限公司主營產(chǎn)品:標(biāo)準(zhǔn)光源對色燈箱、英國-美國標(biāo)準(zhǔn)光源箱、汽車檢測光源、愛色麗X-Rite色差儀、鏡頭攝像頭測試用標(biāo)準(zhǔn)光源、印刷行業(yè)用標(biāo)準(zhǔn)光源、電腦測色儀、分光密度儀、色卡、分辨率卡、色溫照度計(jì)等光學(xué)儀器。

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